真空压力传感器用于在气体环境下测量低压力和真空下的压力。传感器可以测量到精度在1毫巴以下的压力，使其成为工业中必不可少的重要工具之一。
真空压力传感器一般由压力零点、生产批次号、力敏元件、补偿元件、软件处理电路、信号输出等组成。其中力敏元件是衡量压力的核心组件，可根据外加压力的大小输出对应的电信号，使得测量更为准确。
除了高精度外，真空压力传感器的耐用性和可靠性也是其优势之一。由于传感器往往用于复杂恶劣的工业环境中，因此需要具有良好的抗防水、防尘、抗腐蚀等性能，能够长时间稳定运行。同时，传感器还可以在极端的温度下进行操作，可以在-50℃至150℃之间正常使用。
真空压力传感器在工业过程中发挥了巨大的作用，其高精度、耐用可靠的特性使得其在各行各业中均有广泛的应用。